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央大學精密儀器中心成立於民國79年, 以支援各系所教授從事研究工作, 及訓練研究人員為目的, 藉由儀器的集中管理使用及妥善的維護保養, 避免重覆購置的浪費, 以發揮對儀器的最高使用效率. 本中心並對工業界及研究機構提供測試服務, 以促進研究發展, 改進生產技術.
中心主任

 鄭憲清教授< jscjang@ncu.edu.tw >

 
     

聯絡方式

    地址: 桃園縣中壢市中大路300號國立中央大學工學院工程五館A棟 一樓
 電話: (03)4227151轉34005

 
服務提供

高解析掃描穿透式電子顯微鏡(HR-STEM)

為日本JEOL公司 JEM-2100 。購買於民國95年,主機配備有能量散射光譜分析儀(EDS OXFORD/Inca Energy 250)

搭配STEM功能,可做微區化學成份分析原子序B5~U292

的元素及Mapping/Linescan,附加數位影像系統(Gatan/894 2K UltraScan Camera),可作數位影像擷取及分析、離子研磨機(Gatan dual ion miller)及凹片機(Dimpler)

 

聯絡分機 : 34009   聯絡人 : 翁小姐 < ncuicusj@cc.ncu.edu.tw >

低真空掃描式電子顯微鏡 (LV-SEM)


由日本HITACHI公司 S-3500N 主機於民國88年購買
重要規格:Resolution : 3.5mm
Image Mode : SEI,BEI
Volgate : 0.3-30Kev
主要附件:鍍金(碳)機
EDS系統(Noran Vvantage DI)
鍍金(碳)機 在樣品表面鍍導電金膜碳膜
EDS系統 分析樣品中之元素(B-U)

 

聯絡分機 : 34010    聯絡人 : 林小姐 < huei@cc.ncu.edu.tw >

x光粉末繞射儀(XRD)
   
西德BRUKER公司生產之D8AXRD,可鑑別試樣之結晶組成與分析。具操作軟體,包括資料處理軟體、分析軟體及完整之JCPDS資料,可方便的處理試驗結果。

聯絡分機 : 34009   聯絡人 : 翁小姐 < ncuicusj@cc.ncu.edu.tw >

氮氣吸附孔隙儀(ASAP)
    
美國Micromeritics公司之ASAP2010和ASAP2020氮吸附孔隙儀2部,購於民國89年 和100年,保養甚佳,使用頻繁。並配有微孔分析附件,可量測至6埃之微孔或用Ar氣吸附。
 
聯絡分機 : 34007     聯絡人 : 陳小姐 < lifan@cc.ncu.edu.tw >

熱微差掃描分析儀(DSC)

美國PERKIN ELMER公司兩台:
 
型號TGA-7,購於民國83年。測定溫度範圍可由50至500℃,精確度1μw。
型號Diamond一台,民國95年購置,測定溫度範圍可由50至700℃,精確度1μw
 
聯絡分機 : 34007     聯絡人 : 陳小姐 < lifan@cc.ncu.edu.tw >

熱重分析儀(TGA)

測定溫度範圍可由50至1000℃,精確度1μg。美國PERKIN ELMER公司之Pyris 1 TGA,民國79年購置
 
聯絡分機 : 34007     聯絡人 : 陳小姐 < lifan@cc.ncu.edu.tw >

場放射掃描式電子顯微鏡(SEM)


為日本HITACHI公司S-800型主機,配備KEVEX LEVELⅢ之X光能譜儀(EDS),不僅可進行表面形態觀察並可提供微區元素分析。自81年3月啟用以來,功能良好,保養維護佳,分析結果準確性高。

聯絡分機 : 34010       聯絡 人 : 林小姐 < huei@cc.ncu.edu.tw >

穿透式電子顯微鏡(TEM)
 
為日本JEOL公司JEM-2000FXΠ。購於民國81年,另有附屬設備:離子研磨機(Gatan dual ion miller)及凹片機(Dimpler)。
 
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VG Sigma Probe光電子/歐傑電子能譜儀(Auger/ESCA)


廠牌 : 英國Thermo VG-Scientific
型號 : Sigma Probe
功能 : VG Sigma Probe光電子/歐傑電子能譜儀(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA/Auger) 包括下列幾項附件
1.Micofocus Monochromator Alanode X-ray(XPS,mapping,depth profile)
2.場發射電子槍(歐傑電子能譜) Field emission AUGER facility(SEM,SAM.depth profile)
3.紫外線光源(紫外光電子能譜) UPS facility
4.樣品準備室配備加熱冷卻裝置及高壓反應槽( preparation chamberfit with heating and cooling device and high pressure gas cell) AUGAR和XPS皆可進行微區及全區掃描,和從深分析。

 
聯絡分機 : 34007     聯絡人 : 陳小姐 < lifan@cc.ncu.edu.tw >

超高解析可變真空場發射掃描式電子顯微鏡

 

廠牌:FEI
電子槍:熱場發電子源
電子槍真空度:3×10-7 Pa
解析度: High Vacuum 1.0nm at 15Kv
                                        1.6nm at 1 Kv
                 Low Vacuum 1.5nm at 10Kv
                                        1.8nm at 3 Kv
加速電壓:50v~30Kv
試片大小限制: 1.0mm~2.0mm
試片載台:中心式試片台
                    X-Y 移動範圍 X-50mm Y-50mm
                    旋轉範圍 360
                    工作距離 0.5mm~50mm
                    傾斜角度 -15 ~ +15
影像取檔: FTP 存取

X光能量散譜儀

廠牌:Bruker
X光偵測器:SDD
解析度: <125eV
偵測範圍:B5~U92
Analyzer:Qualitative analysis
                   Spectrum comparison
                   Quantitative analysis
Mapping: Line scan
                   Smart Map
資料取檔: FTP 存取

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(低掠角/穿透式)小角度X光散射儀(Grazing Incidence/TransmissionSmall-angel X-ray Scattering)

 

為Rigaku- NANO-Viewer。購於民國100年,主機配備包括一部(1)X光產生器:高能量微焦點陽極旋轉靶、(2)點收束型集光鏡: 小角度X光散射儀之微光源及小角度X光散射針孔光學系統:反射式及穿透式小角度X光散射量測、(3)垂直面&平行面GISAXS薄膜量測附件+溫度附件(室溫至200 oC)及固體液體粉體溫度控置樣品室及所需試樣容器配件(4)偵測計數器:二維面積型偵測器A.R-AXIS DS3C(IP)及B.2次元Si半導體検出器,還有(5)分析軟體:粒徑和孔徑分佈解析,低介電薄膜孔徑分佈解析,長周期構造解析,配向度解析,結晶化度解析,動徑分佈函數解析。

聯絡分機 : 34009   聯絡人 : 翁小姐 < ncuicusj@cc.ncu.edu.tw >

場發射掃描式電子顯微鏡

儀器設備廠牌及型號: FEI,Inspect F50

系統規格:
1. 電子光源: 熱場發射電子槍。
2. 操作電壓: 300 V ~ 30 KV。
3. 電子束解析度: 1.0 nm (30 KV) ; 3.0 nm (1 KV)。
4. 放大倍率: 14 to 1000000 x。
5. 高真空系統: < 6e-4 Pa。
6. 樣品台: X-Y: 50 mm; Z: 50 mm; Tilt angle: -15°to +75°;Rotation angle: 360°。

服務項目:
1. 電子影像觀察及照相 (SE, BSE)。
2. EDS定性及半定量分析。
                                       本儀器僅具高真空模式且為熱場發式電子槍,高揮發、低熔點、低導電性等不穩定之樣品應優先至可變真空或冷場發式SEM分析。

場發射掃描式電子顯微鏡系統管理委員會:
管理委員會成員:材料所 張仍奎教授、材料所 李勝偉教授、化材系 李岱洲教授。
召集人:材料所 張仍奎 (03) 4227151轉34908